摘要： 椭偏术是薄膜物理和表面科学的重要测量方法。对椭偏术基本方程进行数学处理,应用微型计算机可由测量值直接求得未知参数。双入射角法不仅可以提高测量精度,而且可以直接求得薄膜的几何厚度而不必借助其它方法判断周期数。